लेझर एनग्रेव्हिंग, कटिंग आणि मार्किंग सिस्टीममध्ये एफ-थीटा लेन्स सामान्यतः गॅल्व्हनोमीटर स्कॅनिंग मिररसोबत वापरल्या जातात. सामान्यतः लेन्सचे एफ-थीटा डिस्टॉर्शन १% पेक्षा कमी ठेवले जाते, जेणेकरून इमेज प्लेनवरील सपाट क्षेत्रात एक अचूक ठसा तयार करता येईल.
व्यास सहनशीलता: +०/-०.१३ मिमी
जाडीतील सहनशीलता: ±०.२५ मिमी
नाभीय लांबी सहनशीलता: ±२%
कडेच्या जाडीतील तफावत (ETV): ≤३ आर्क मिनिटे.
स्पष्ट छिद्र: >९०%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
पृष्ठभागाची गुणवत्ता: ४०-२० एसडी
एआर कोटिंग: R<0.2% प्रति पृष्ठभाग @10.6μ